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微波真空干燥機適用于微波烘干多類不同的物料，比如糧食、粉質產品以及實驗樣品等。但是由于不同物料的種類和條件差異很大，因此微波真空干燥作業曲線并不是恒定不變的，它需要物料內部接受熱傳導以達到快速干燥烘干的目的。
微波真空干燥設備的真空度易受到擊穿電場強度的影響。這是因為氣體分子在真空狀態下特別容易被電場電離，這種現象若是發生在微波能量饋送耦合端口，那么則有可能會大量消耗微波真空干燥機的微波能量。
微波真空干燥機的作業效果還與微波真空的工作時間長短息息相關。比如選擇微波真空干燥機烘干菠蘿粉，由于菠蘿粉的濕度含量較大，故而它初期干燥效果并不明顯，這是因為菠蘿粉中的水分子對大能量微波源吸收不足所造成的。
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